SIMS Workstation

Hệ thống phân tích bề mặt UHV để lập hồ sơ độ sâu màng mỏng

  • Model: SIMS Workstation
  • Manufacturer: Hiden Analytical

SIMS Workstation là thiết bị linh hoạt, có độ nhạy cực cao, sử dụng phép trắc phổ khối ion thứ cấp (SIMS) ở cả hai chế độ động và tĩnh. Với khả năng phát hiện cả ion thứ cấp dương (+ve) và ion thứ cấp âm (-ve), SIMS Workstation là một giải pháp toàn diện cho các ứng dụng phân tích thành phần và độ sâu định hình của nhiều loại vật liệu bao gồm: polyme, siêu dẫn, bán dẫn, hợp kim , lớp phủ quang học và chất điện môi.

Ưu điểm:

  • Có thể phát hiện được tất cả các nguyên tố và đồng vị của chúng
  • Độ nhạy cao, giới hạn phát hiện rộng (có thể phát hiện tới ppb)
  • Tư động căn chỉnh khối lượng cho hiệu suất SIMS tối ưu

Ứng dụng:

SIMS thường được ứng dụng để phân tích bề mặt vật liệu, bao gồm:

  • Kỹ thuật màng mỏng, công nghệ nano
  • Phân tích các chất pha tạp (thành phần, độ sâu phân tán) trong vật liệu bán dẫn.
  •  Phân tích khuyết tật/ lỗi trong pin mặt trời linh hoạt.
  • Phân biệt các đồng vị.
  • Phân tích thành phần bề mặt các stent phẫu thuật.
  • Phân tích thành phần nhiên liệu hạt nhân.
  • Phát hiện thành phần tạp trong thuốc, phân tích quá trình phân hủy lớp màng bao bọc ngoài thuốc.
Danh mục:

Phép trắc phổ khối ion thứ cấp (SIMS) là kỹ thuật phân tích bề mặt có độ nhạy cao nhất với giới hạn phát hiện nhiều nguyên tố đến hàm lượng ppb cùng khả năng phát hiện được tất cả các nguyên tố và đồng vị. Mẫu được bắn phá bởi một chùm ion trong điều kiện chân không siêu cao (UHV) và vật liệu phún xạ, đặc tính của bề mặt được phân tích bởi khối phổ có độ nhạy cao. Do đó, SIMS Workstation được sử dụng để phân tích vật liệu composite – kim loại – gốm, vật liệu hữu cơ, chất liệu bán dẫn, v.v..

phân tích ion

Tổng quan về sản phẩm

Hệ thống SIMS của Hiden trang bị một súng bơm ion khí cho sự bắn phá Oxi và Argon trong suốt phép đo khối phổ thứ cấp ion – SIMS và phún xạ khối phổ trung hòa – SNMS (sputtered neutral mass spectrometry), cùng một súng bơm Cesi nhạy với các ion âm. Cả hai súng bơm ion sơ cấp này đều được điều khiển bởi một giao diện máy tính trực quan, cho phép quan sát hình dạng và cường độ chùm ion trong quá trình điều khiển. Các thông số có thể được lưu giữ và lấy lại cho quá trình tái cài đặt công cụ trở nên nhanh chóng. Hiden cung cấp những tùy chọn theo nhu cầu nghiên cứu cụ thể hay những yêu cầu giám sát quá trình, đảm bảo hiệu suất tối đa, phù hợp với ứng dụng của người dùng.

phân tích vật liệu

SIMS Workstation của Hiden Analatycial sử dụng để phân tích cả SIMS tĩnh và SIMS động, cùng với khối phổ tứ cực kế MAXIM có độ nhạy cao, thiết bị có thể hoạt động ở chế độ phát hiện ion thứ cấp để pháp hiện ion dương, âm và các thành phần trung hoà.

máy quang phổ

máy phân tích ion

Sự tạo ảnh SIMS cũng là một công cụ mạnh mẽ của thiết bị. Một camera cho phép định vị chính xác. Cùng với đó, phổ SIMS dễ dàng thu được nhờ sử dụng phần mềm MASoft để điều khiển tất cả các thông số phân tích, khôi phục, hoạt động của van, khối lượng và tốc độ thu thông qua giao diện biểu đồ đường.

Đặc trưng của máy khối phổ ion thứ cấp – SIMS

  • Sử dụng phần mềm MASsoft Professional để điều khiển MAXIM SIMS phân tích tới hàm lượng ppb
  • Tích hợp bộ ion hoá để phân tích SNMS hiệu quả
  • Lựa chọn các nguồn ion kích thích theo nhu cầu sử dụng
  • Sử dụng súng bơm ion khí IG20, IG5C Caesium, IFG200 FAB hoặc súng Gallium lỏng hiệu suất cao theo nhu cầu sử dụng
  • Tích hợp bộ điều khiển raster cho sung ion với cổng tín hiệu để định hình độ sâu
  • Tuỳ chọn súng phun điện tử để trung hoà điện tích trong nghiên cứu chất cách điện
  • Có sẵn bộ điều khiển UHV để định vị vị trí mẫu tối ưu
  • Tùy chọn hình ảnh nguyên tố SIMS với chương trình ESM LabVIEW SIMS Imaging
  • Thiết bị có sẵn thư viện quang phổ SIMS
  • Tự động điều chỉnh ống kính quang học ion SIMS
  • Căn chỉnh khối lượng tự động cho hiệu suất SIMS tối ưu

Kết luận

Để biết thêm thông tin chi tiết, tư vấn và tham vấn thêm các vấn đề và giải pháp của khối phổ trong các lĩnh vực, Quý khách vui lòng liên hệ theo thông tin dưới đây:

Công ty TNHH Khoa Học và Kỹ Thuật REECO

  • Địa chỉ: Phòng 202B, Nhà A, Khu Công Nghệ Phần Mềm, Đường Võ Trường Toản, Đại Học Quốc Gia Thành Phố Hồ Chí Minh, Khu Phố 6, Phường Linh Trung, Thành phố Thủ Đức, Thành phố Hồ Chí Minh, Việt Nam
  • Email: info@reecotech.com.vn
  • Hotline: 0938 696 131 (Phòng Kinh doanh) / 0901 880 386 (Phòng Dịch vụ Kỹ thuật)
  • Website: https://reecotech.com.vn/
  • Fanpage: https://www.facebook.com/ReecoTech
Phạm vi khối lượng Khối lượng tiêu chuẩn 510 amu
Tuỳ chọn phạm vi từ 300 amu đến 1000 amu
Độ phân giải 5% khoảng lõm giữa các đỉnh liền kề có chiều cao bằng nhau trong toàn dải khối lượng
Đầu dò Đầu dò đếm ion phát hiện ion dương và âm, gia tốc sau 4 kV cho các ion dương.
Phạm vi phát hiện 1 – 1017
Tỷ lệ đếm tối đa 1017 lần đếm mỗi giây
Tỷ lệ đếm tối thiểu 1 lần đếm mỗi giây
Độ nhạy > 3 x 106 c/s trên mỗi nanoamp (5 keV Ar, ion sơ cấp phát hiện Al+ từ mục tiêu Al ở khoảng cách làm việc 20 mm, hệ thống 300 amu)
Bộ lọc năng lượng – Parallel plate

– Mũi tiêm 30o

Nguồn ion Nguồn ion SNMS tích hợp electron từ 4 – 150 eV
Bộ lọc khối lượng 4 cực – 3 giai đoạn
Đường kính cực 9 – 1000mm
Nhiệt độ buồng phản ứng 250oC

SIMS Workstation – Analytical Secondary Ion Mass Spectrometry

Tải xuống

Hiden SIMS | Analytical Secondary Ion Mass Spectrometry Products

Tải xuống

Đánh giá sản phẩm

Review SIMS Workstation

5 0% | 0 đánh giá
4 0% | 0 đánh giá
3 0% | 0 đánh giá
2 0% | 0 đánh giá
1 0% | 0 đánh giá
Đánh giá SIMS Workstation
Gửi ảnh thực tế
0 ký tự (Tối thiểu 10)
    +

    Chưa có đánh giá nào.

    Chưa có bình luận nào

    Sản phẩm liên quan

    Reecotech cung cấp các sản phẩm và dịch vụ chất lượng cao, góp phần bảo vệ môi trường và phát triển bền vững.

    EPIC 1000 Series

    EPIC / EPIC 1000 Series

    Hệ thống phân tích UHV trung tính, gốc tự do và ion
    tìm hiểu thêm
    RGA Series

    RGA Series

    Hệ thống kiểm tra các thành phần có trong bình chứa hoặc được tạo ra từ một quá trình
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích chùm phân tử XBS RC

    XBS

    Hệ thống giám sát nhiều nguồn trong ứng dụng lắng đọng MBE
    tìm hiểu thêm
    Máy phân tích phổ khối ion thứ cấp được bơm vi sai IMP-EPD

    IMP-EPD

    Máy quang phổ khối cho ứng dụng khắc tia ion
    tìm hiểu thêm
    Máy phân tích khối lượng và năng lượng để nghiên cứu plasma

    PSM

    Máy phân tích khối lượng và năng lượng để nghiên cứu plasma
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích khối lượng tứ cực cho giám sát quá trình và chuẩn đoán chân không

    HMT

    Hệ thống phân tích khối lượng tứ cực cho giám sát quá trình và chuẩn đoán chân không
    tìm hiểu thêm
    Súng ion Argon hoặc Oxygen 5keV dành cho các ứng dụng phân tích bề mặt UHV

    IG20

    Súng ion Argon hoặc Oxygen 5keV dành cho các ứng dụng phân tích bề mặt UHV
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích khí HPR-20 TMS

    HPR-20 TMS

    Hệ thống phân tích khí chuyên nghiệp để phân tích các thay đổi thành phần khí nhanh chóng
    tìm hiểu thêm