HPR-30 Series

Dòng máy phân tích quá trình chân không Hiden HPR-30 là hệ thống phổ khối tứ cực được thiết kế để phân tích khí quá trình, sản phẩm phản ứng, giám sát tạp chất và phát hiện rò rỉ trong các quá trình chân không.

Hệ thống lấy mẫu được cấu hình để cung cấp độ nhạy và phản hồi tối ưu trong phạm vi áp suất quá trình.

Các cấu hình lấy mẫu có sẵn:

• HPR-30 Cart: Được trang bị cổng lấy mẫu dẫn điện kép, tự hào có lỗ mở quay ngược được kết nối trực tiếp để lấy mẫu trong vùng quá trình. Điều này đảm bảo độ chính xác dữ liệu vô song và xác minh trạng thái quá trình nhanh chóng.

• HPR-30 Multi Inlet Cart: Có nhiều cổng vào thích ứng, mỗi cổng dài 1m, được ghép nối với kết nối đa van ba chiều. Nó có tính năng chuyển đổi tự động giúp thuận lợi cho việc phân tích trên một phổ áp suất quá trình rộng.

• HPR-30 SGL: Được thiết kế với một đường lấy mẫu đơn, được gia nhiệt, lý tưởng cho các trường hợp có không gian hạn chế cho các liên kết lấy mẫu. Đặc biệt khi việc phân tích các sản phẩm phụ ít bay hơi hơn yêu cầu một đầu vào được làm nóng liên tục. Ngoài ra, nó còn cung cấp tùy chọn thu thập dữ liệu theo thời gian thực, làm cho nó trở nên lý tưởng để giám sát các quá trình lắng đọng xung.

Một tính năng tiên tiến có sẵn là hệ thống ba bộ lọc tứ cực Hiden 3F. Điều này cung cấp độ nhạy cao hơn, với mức độ phát hiện xuống thang ppb và khả năng chống ô nhiễm vượt trội. Điều này làm cho nó đặc biệt mạnh mẽ trong việc phân tích các khí khắc nghiệt trong các ứng dụng CVD và RIE.