HPR-30 RGA Cart

The HPR-30 RGA Cart includes:

Compact mobile cart and sampling inlet with flexible height adjustment for coupling to multiple chamber types.

• Re-entrantprobe with user changeable sampling orif

For optimum analysis sensitivity the sampling orifice size is process matched to enable sampling up to the maximum process pressure. A sampling orifice is supplied to match the user specified process pressure in the range: 10-3 mbar to 5 mbar.

• Ahigh conductance inlet for residual gas analysis at chamber base pressure from ultra high vacuum, and up to 10-4
• Thesampling inlet includes manually operated valves, or the pneumatic operated valve option for automatic c
• Mountedon a compact mobile cart with a user height adjustable sampling point in the range from 821 mm up to 1476 mm. The mounting flange type is DN-35-CF with adapters available to suit other types of process chamber flanges as required, KF 40 for exa

Vacuum System – all dry turbomolecular pump set.

UHV 80 l/s turbomolecular pump set, providing an ultra high vacuum environment for mass spectrometer operation with:

• 80l/s turbomolecular pump with dry membrane foreline pump
• Turbocontroller
• Auto-ventvalve with delay timer
• Splintershield
• Vacuumprotection module
• UHVvacuum manifold
• Controllerand total pressure gauge for vacuum integrity confirmation and interlock protection of the mass spectrometer in case of over pressure
• Allcontrollers integrated within the base of the mobile cart

Quadrupole Mass Spectrometer

HAL 201 RC with dual Faraday/Electron Multiplier Detector

• Atomicmass range: 200 amu (300 amu, 510 amu and 1000 amu options)
• Minimumdetectable partial pressure: 5 x 10-14 mbar
• Resolution:10% valley as per AVS standard (fully software adjustable)
• Scanspeed: Up to 650 measurements per second
• Peakratio reproducibility: +/- 5 %
• Ionsource: dual filament, yttriated iridium (software selectable)
• Softionisation mode
• Operatingmodes include a fast set up scan gallery for: leak detection, histogram and trend analysis
• I/O:3 x relay contacts, 5 x TTL lines, 2 x analogue inputs
• RS232, Ethernet, or USB integrated comm
• MASsoftProfessional PC software – Windows compatible

Power Supply: 110…230 V AC, 50…60 Hz