HALO 201 MBE

Hệ thống phân tích các thành phần của khí dư trong buồng chân không MBE

  • Model: HALO 201 MBE
  • Manufacturer: Hiden Analytical

Hệ thống phân tích các thành phần của khí dư trong buồng chân không HALO 201 MBE được thiết kế cho các ứng dụng phân tích khí, giám sát khí và quá trình, bao gồm phát hiện rò rỉ, phân tích xu hướng và khảo sát chân không.

Ứng dụng:

  • Sản xuất chất bán dẫn
  • Pin nhiên liệu
Danh mục:

Hệ thống phân tích các thành phần của khí dư trong buồng chân không HALO 201 MBE được thiết kế cho các ứng dụng phân tích khí dư, phát hiện rò rỉ, phân tích xu hướng và khảo sát chân không trong môi trường MBE đòi hỏi cao. HALO 201 MBE có lưới nguồn ion chống nhiễm bẩn và hệ thống dây dẫn bằng molypden thay cho hệ thống dây dẫn bằng đồng tiêu chuẩn.

Bộ phân tích lưỡng cực HALO là một cụm chính xác bao gồm một bộ lọc khối lượng với giá đỡ gốm sứ gia công theo hướng xuyên tâm, một máy ion hóa va chạm electron với dây tóc iridium tráng oxid kép và bộ detector nhân electron Faraday và Channelplate. Mặt bích lắp đặt bộ phân tích là một mặt bích loại Conflat DN-35-CF (2¾ “, 70 mm OD). Dải khối lượng là 200 amu.

Hệ thống RGA HALO 201 MBE được điều khiển trực tiếp từ máy tính tương thích PC qua USB, RS232 hoặc liên kết Ethernet, cung cấp khả năng thu thập dữ liệu đồng thời từ nhiều hệ thống. Đơn vị giao diện RC là một đơn vị gắn rack 19 inch cao 90 mm (2U). Nó được cấp nguồn chính và bao gồm các đèn báo nguồn và trạng thái của dây tóc.

Phần mềm PC MASsoft Professional Windows® cung cấp khả năng thu thập dữ liệu nhanh chóng thông qua các tệp thu thập do người dùng cấu hình hoặc các chế độ cài đặt trước được chọn bằng biểu tượng.

Hiden sản xuất một loạt các máy phân tích khối lượng lưỡng cực đa dạng để đáp ứng nhu cầu ứng dụng rộng rãi. Các dụng cụ RGA khác được chi tiết trong đặc điểm kỹ thuật của dòng Hiden RGA.

Hệ thống Hiden HALO 201 MBE bao gồm:

  • Đơn vị giao diện RCcontrol.
  • Máy phát RF với tiền khuếch đại.
  • Bộ phân tích với nguồn ion bắn phá electron tích hợp, lưới nguồn ion lọc khối lượng chính xác, hệ thống dây dẫn đồng hồ molypden và bộ detector kênh kép Faraday/SEM.
  • Kết nối
  • Phần mềm PC MASsoftProfessional

Hệ thống yêu cầu một PC để hoạt động, không bao gồm trong mục này.

Các tính năng tiêu chuẩn của HALO 201 MBE:

  • Lưới nguồn ion tích hợp để duy trì tuổi thọ cao và giảm thiểu nhiễm bẩn
  • Dây dẫn đồng hồ chân không
  • Chế độ phát hiện rò rỉ với helium hoặc các khí tìm kiếm khác do người dùng lựa chọn
  • Truy cập nhanh để, Biểu đồ, Phân tích xu hướng và Dỉnh tương tự
  • Trừ nền thời gian thực.
  • Nhận dạng loài chân không mới với phân tích tự động
  • Hiển thị đồng thời theo thời gian thực của dữ liệu phân tích xu hướng đồ họa và bảng
  • Thu thập dữ liệu từ nhiều hệ thống qua Ethernet.
  • Căn chỉnh thang khối lượng tự động.
  • Thư viện phổ khối tích hợp với chức năng chỉnh sửa đầy đủ
  • Cơ sở xuất dữ liệu sang định dạng ASCII và tất cả các thiết bị Windows® để in/vẽ.
Mass Range: 200 amu
Maximum Operating Pressure: 1 x 10-4 mbar with Faraday detector.
Resolution: 10% Valley between adjacent peaks of equal height throughout the mass range. Software adjustable.
Detector: Twin detector :

Faraday cup and Channelplate electron multiplier.

Minimum Detectable Partial Pressure 1 x 10-11 mbar with Faraday detector

2 x 10-13 mbar with Channelplate detector

Measurement speed:
Maximum measurement speed: 650 measurements per second.
Ion Source: Radially symmetric, UHV compatible ion source. Integral ion source screen
Filament: Twin filament.

Oxide coated iridium is standard.

Ion Source control option:
Electron emission Software variable 1 µA to 2 mA.
Electron energy: Software variable 0 to 150 eV
Ion energy: Software variable 0 to 10 eV 
PC Software: MASsoft  Professional
Communications to PC: RS232, USB 2.0, 10/100 Base-T LAN
RC interface unit I/O 5 configurable I/O TTL lines, 2 analog inputs, 2 trip relay outputs, external trip input and over-pressure trip output.

3 RS485 (multi protocol) to interface with a wide range of external devices, MFCs for example.

8 digital inputs compatible with 5 V and 24 V logic levels. 8 open collector digital outputs (30 V, 500 mA max)

4 or 8 channel analog outputs, 0-10 V, 14 bit (optional).

Power   requirement: 100-240V AC, 50-60 Hz, 250 VA.

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis – RGA | For Applications in a Vacuum Environment

Tải xuống

Đánh giá sản phẩm

Review HALO 201 MBE

5 0% | 0 đánh giá
4 0% | 0 đánh giá
3 0% | 0 đánh giá
2 0% | 0 đánh giá
1 0% | 0 đánh giá
Đánh giá HALO 201 MBE
Gửi ảnh thực tế
0 ký tự (Tối thiểu 10)
    +

    Chưa có đánh giá nào.

    Chưa có bình luận nào

    Sản phẩm liên quan

    Reecotech cung cấp các sản phẩm và dịch vụ chất lượng cao, góp phần bảo vệ môi trường và phát triển bền vững.

    EPIC 1000 Series

    EPIC / EPIC 1000 Series

    Hệ thống phân tích UHV trung tính, gốc tự do và ion
    tìm hiểu thêm
    RGA Series

    RGA Series

    Hệ thống kiểm tra các thành phần có trong bình chứa hoặc được tạo ra từ một quá trình
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích chùm phân tử XBS RC

    XBS

    Hệ thống giám sát nhiều nguồn trong ứng dụng lắng đọng MBE
    tìm hiểu thêm
    Máy phân tích phổ khối ion thứ cấp được bơm vi sai IMP-EPD

    IMP-EPD

    Máy quang phổ khối cho ứng dụng khắc tia ion
    tìm hiểu thêm
    Máy phân tích khối lượng và năng lượng để nghiên cứu plasma

    PSM

    Máy phân tích khối lượng và năng lượng để nghiên cứu plasma
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích khối lượng tứ cực cho giám sát quá trình và chuẩn đoán chân không

    HMT

    Hệ thống phân tích khối lượng tứ cực cho giám sát quá trình và chuẩn đoán chân không
    tìm hiểu thêm
    Súng ion Argon hoặc Oxygen 5keV dành cho các ứng dụng phân tích bề mặt UHV

    IG20

    Súng ion Argon hoặc Oxygen 5keV dành cho các ứng dụng phân tích bề mặt UHV
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích khí HPR-20 TMS

    HPR-20 TMS

    Hệ thống phân tích khí chuyên nghiệp để phân tích các thay đổi thành phần khí nhanh chóng
    tìm hiểu thêm