AutoSIMS

Hiden Analytical đã phát triển một hệ thống phân tích bề mặt tự động hoàn toàn và độc lập với tên gọi AutoSIMS, một máy phổ khối ion thứ cấp (SIMS) tiên tiến có thể thực hiện các phân tích thông thường và lặp đi lặp lại mà không cần giám sát. Với bàn XY hoàn toàn tự động và giá đỡ mở rộng, AutoSIMS của Hiden có thể chạy hàng trăm quy trình mỗi ngày trong quá trình hoạt động không ngừng nghỉ 24/7.

AutoSIMS bao gồm:

• Buồng phân tích đa cổng bằng thép không gỉ chân không cao.
• Bàn XY diện tích lớn tự động để phân tích không giám sát tự động lên đến 96 mẫu.
• Bộ phân tích SIMS/SNMS quadrupole MAXIM 600 P.
• Nguồn ion chính IG-20 – Oxy hoặc Argon.
• Giá đỡ mẫu được thiết kế riêng cho phép tải đồng thời tối đa 96 mẫu để đo vào buồng chân không hút khô.
• Bộ bơm phân tử turbo UHV – 2 cái.
• Hệ thống dữ liệu SIMS bao gồm PC để bàn cao cấp với màn hình hiển thị kép.
• Bao gồm MASsoft Professional SIMS, phần mềm điều khiển súng ion IG-20 và SIMS Mapper.
• Đồng hồ đo áp suất toàn phần để theo dõi tốc độ bơm chân không, xác nhận tính toàn vẹn của chân không và bảo vệ interlock trong trường hợp quá áp.
• Bộ phụ tùng bao gồm bộ sợi đốt SNMS, bộ sợi đốt IG-20, vòng đệm chân không dự phòng.

Tuổi thọ cao của súng ion đảm bảo tạo ra chùm tia ổn định cao trong suốt thời gian hoạt động kéo dài, cho phép giá đỡ băng cassette và bàn mẫu cung cấp liều mẫu liên tục cho phân tích theo mẻng năng suất cao. Ngay cả người vận hành mới bắt đầu cũng có thể lập trình hệ thống phân tích bề mặt tự động bằng cách điều chỉnh ma trận các thông số thử nghiệm thông qua một bảng tính đơn giản.

Hệ thống phân tích bề mặt tự động AutoSIMS của Hiden có thể thực hiện cả phân tích SIMS tĩnh và động với độ phân giải độ sâu nanomet, hoàn toàn độc lập. Nó cũng có thể được chạy trong chế độ thủ công dành cho người dùng chuyên gia muốn khai thác toàn bộ các khả năng kỹ thuật có sẵn.