Hệ thống Hiden EPIC được thiết kế để phân tích các nguyên tử trung hòa, gốc tự do và ion. Dựa trên hệ thống điều khiển PC của giao diện RC7 Plasma/SIMS, đầu phân tích EPIC là đơn vị khởi đầu cho dòng Plasma/SIMS ứng dụng khoa học.

Ứng dụng:

• Khoa học bề mặt
• Kỹ thuật màng mỏng và bề mặt
• Xúc tác
• Nghiên cứu chùm phân tử
• Nghiên cứu cụm

Với khả năng đo áp suất riêng phần từ UHV (chân không cực cao) lên đến 0,01 Pa (10-4 mbar). Hệ thống lấy mẫu với bơm vi sai mở rộng phạm vi áp suất lấy mẫu, cho phép giám sát quá trình chân không và phân tích khí hiệu quả hơn khi cần thiết.

Tất cả máy phân tích khí dư Hiden đều được kiểm tra ứng dụng và hiệu chuẩn kỹ lưỡng để đảm bảo hiệu suất cao nhất. Chúng được bảo hành 3 năm và hỗ trợ dịch vụ trọn đời.

Ứng dụng

• Phân tích khí dư
• Kiểm tra rò rỉ
• Phản xạ
• Nghiên cứu thoát khí
• Chu kỳ nung
• Hiệu suất bơm
• Chất gây ô nhiễm khí quy trình
• Lớp phủ quang học màng mỏng

Ứng dụng:

• Phân tích khí dư
• Xử lý chân không
• XPS gần áp suất khí quyển, APXPS
• Mạ quang học màng mỏng
• CVD / MOCVD / ALD

Hệ thống Hiden HPR-20 TMS Transient MS được thiết kế để phân tích nhanh các sự kiện khí gas và hơi nước ở áp suất gần khí quyển. Thích hợp cho các thí nghiệm chuyển đổi khí nhanh, hệ thống MS này được trang bị giao diện lấy mẫu QIC bằng thạch anh dài 0,9 m cho thời gian phản hồi nhanh.

Các ứng dụng:

• Phân tích nhiệt TA/MS
• Xúc tác
• Pin nhiên liệu
• CVD / MOCVD / ALCVD
• Giám sát môi trường
• Phân tích hơi thở con người
• Nghiên cứu tách khí
• Nhật ký bùn (thăm dò dầu)

Hệ thống phân tích khí Hiden HPR-20 S1000 được cấu hình để phân tích liên tục các khí và hơi ở áp suất gần với áp suất khí quyển trong điều kiện tiêu chuẩn, với các hệ thống thay thế được cung cấp cho các ứng dụng đòi hỏi lấy mẫu trực tiếp từ áp suất cao hơn đến 30 bar.

Ứng dụng:

• Phân tích nhiệt TA/MS
• Xúc tác
• Pin nhiên liệu
• CVD / MOCVD / ALCVD
• Giám sát môi trường
• Giám sát buồng kín
• Nghiên cứu phân tách khí

Hệ thống phân tích khí chuyên dụng Hiden HPR-20 R&D là một máy phân tích khối phổ để bàn dùng để phân tích khí của các khí và hơi thoát ra theo thời gian thực.

Các ứng dụng:

• Phân tích nhiệt TA/MS
• Xúc tác
• Pin nhiên liệu
• CVD / MOCVD / ALCVD
• Giám sát môi trường
• Giám sát buồng găng tay
• Nghiên cứu tách khí
• Khai thác dầu (ghi nhật ký bùn)

Hệ thống phân tích khí Hiden HPR-20 EPIC được cấu hình để phân tích liên tục các khí và hơi ở áp suất gần với áp suất khí quyển trong điều kiện tiêu chuẩn, với các hệ thống đầu vào thay thế được cung cấp cho các ứng dụng đòi hỏi lấy mẫu trực tiếp từ áp suất cao hơn đến 30 bar.

Ứng dụng:

• Động học phản ứng khí quyển
• Phân tích khí độ tinh khiết cao
• Giám sát buồng kín (glovebox)

Hệ thống HPR-20 EGA bao gồm phần mềm EGAsoft PC, một chương trình phần mềm dành riêng cho TGA-MS, bao gồm xuất dữ liệu theo các định dạng phù hợp để nhập trực tiếp dữ liệu MS vào phần mềm thiết bị TGA.

Ứng dụng:

• Phân tích nhiệt TA/MS
• Chất xúc tác
• Pin nhiên liệu
• CVD / MOCVD / ALCVD
• Giám sát môi trường

Hệ thống phân tích các thành phần của khí dư trong buồng chân không HALO 201 MBE được thiết kế cho các ứng dụng phân tích khí, giám sát khí và quá trình, bao gồm phát hiện rò rỉ, phân tích xu hướng và khảo sát chân không.

Ứng dụng:

• Sản xuất chất bán dẫn
• Pin nhiên liệu