Nghiên cứu và chuẩn đoán plasma – Reeco

XBS

webadmin — Thu, 25 Jan 2024 07:37:54 +0000

Model: XBS
Manufacturer: Hiden Analytical

Các nguồn chùm phân tử cần được kiểm soát chính xác để tạo ra màng mỏng chất lượng và có thể tái tạo. Hệ thống XBS (chùm chéo) của Hiden cung cấp khả năng giám sát nhiều nguồn trong thời gian thực, cho phép điều khiển chính xác quá trình lắng cặn. XBS của Hiden là một công cụ tuyệt vời được sử dụng trong phép đo khối phổ chùm phân tử.

Ứng dụng:

Giám sát và điều khiển MBE
Nghiên cứu chùm phân tử
Phân tích nhiều nguồn chùm
RGA hiệu suất cao
Giải hấp phụ
Nghiên cứu giải khí
Chu kỳ làm nóng
Các tạp chất khí trong quá trình

IMP-EPD

webadmin — Thu, 25 Jan 2024 07:23:11 +0000

Model: IMP-EPD
Manufacturer: Hiden Analytical

Cảm biến đầu dò ion milling HAL IMP-EPD có thể được cấu hình để phát hiện điểm kết thúc thủ công hoặc tự động. Hệ thống IMP-EPD là máy phân tích khối lượng tứ cực với quang học ion và bộ lọc năng lượng tích hợp để phân tích trực tiếp các ion thứ cấp từ quá trình khắc. Các ion thứ cấp cung cấp thông tin chính xác về thành phần lớp bề mặt của wafer theo thời gian thực trong suốt quá trình khắc.

Ứng dụng:

Phân tích điểm kết thúc
Xác định tạp chất mục tiêu
Kiểm soát chất lượng / SPC
Phân tích khí dư
Phát hiện rò rỉ

PSM

webadmin — Thu, 25 Jan 2024 07:02:24 +0000

Model: PSM
Manufacturer: Hiden Analytical

Hệ thống phân tích ion plasma Hiden PSM là một máy phổ khối tứ cực được thiết kế để phân tích trực tiếp các ion plasma và các hạt trung tính trong cả ứng dụng xác định đặc tính plasma và chẩn đoán quy trình.

Ứng dụng:

Xác định đặc tính Plasma
Xử lý bằng Plasma và Tích lớp thay thế nguyên tử (ALE)
HiPIMS
Lớp phủ Carbon dạng kim cương (DLC)
Lớp phủ lắng đọng bằng laser xung (PLD)
Lắng đọng magnetron DC màng SiBCN

ESPion

webadmin — Tue, 23 Jan 2024 06:38:31 +0000

Model: ESPion
Manufacturer: Hiden Analytical

Hệ thống Hiden ESPION cung cấp khả năng thu thập các thông số plasma tự động theo thời gian thực, mang lại thông tin chi tiết để sử dụng trong việc phân tích đặc điểm plasma và giám sát tính đồng nhất, bao gồm:

Điện thế Plasma (Plasma Potential)
Nhiệt độ Electron (Electron Temperature)
Mật độ Ion (Ion Density)
Mật độ Electron (Electron Density)
Thông lượng Ion (Ion Flux)
Hàm phân bố năng lượng electron (Electron Energy Distribution Function - EEDF)

Ứng dụng

Phân tích đặc điểm plasma
Khắc plasma và Tán lớp nguyên tử (ALE)
Lớp phủ Kim cương dạng Cacbon (DLC)
HiPIMS
Lắng đọng bằng laser xung (PLD)
Lắng đọng SiBCN bằng Magnetron DC