Hệ thống Hiden EPIC được thiết kế để phân tích các nguyên tử trung hòa, gốc tự do và ion. Dựa trên hệ thống điều khiển PC của giao diện RC7 Plasma/SIMS, đầu phân tích EPIC là đơn vị khởi đầu cho dòng Plasma/SIMS ứng dụng khoa học.

Ứng dụng:

• Khoa học bề mặt
• Kỹ thuật màng mỏng và bề mặt
• Xúc tác
• Nghiên cứu chùm phân tử
• Nghiên cứu cụm

Với khả năng đo áp suất riêng phần từ UHV (chân không cực cao) lên đến 0,01 Pa (10-4 mbar). Hệ thống lấy mẫu với bơm vi sai mở rộng phạm vi áp suất lấy mẫu, cho phép giám sát quá trình chân không và phân tích khí hiệu quả hơn khi cần thiết.

Tất cả máy phân tích khí dư Hiden đều được kiểm tra ứng dụng và hiệu chuẩn kỹ lưỡng để đảm bảo hiệu suất cao nhất. Chúng được bảo hành 3 năm và hỗ trợ dịch vụ trọn đời.

Ứng dụng

• Phân tích khí dư
• Kiểm tra rò rỉ
• Phản xạ
• Nghiên cứu thoát khí
• Chu kỳ nung
• Hiệu suất bơm
• Chất gây ô nhiễm khí quy trình
• Lớp phủ quang học màng mỏng

Các nguồn chùm phân tử cần được kiểm soát chính xác để tạo ra màng mỏng chất lượng và có thể tái tạo. Hệ thống XBS (chùm chéo) của Hiden cung cấp khả năng giám sát nhiều nguồn trong thời gian thực, cho phép điều khiển chính xác quá trình lắng cặn. XBS của Hiden là một công cụ tuyệt vời được sử dụng trong phép đo khối phổ chùm phân tử.

Ứng dụng:

• Giám sát và điều khiển MBE
• Nghiên cứu chùm phân tử
• Phân tích nhiều nguồn chùm
• RGA hiệu suất cao
• Giải hấp phụ
• Nghiên cứu giải khí
• Chu kỳ làm nóng
• Các tạp chất khí trong quá trình

• Phân tích điểm kết thúc
• Xác định tạp chất mục tiêu
• Kiểm soát chất lượng / SPC
• Phân tích khí dư
• Phát hiện rò rỉ

• Xác định đặc tính Plasma
• Xử lý bằng Plasma và Tích lớp thay thế nguyên tử (ALE)
• HiPIMS
• Lớp phủ Carbon dạng kim cương (DLC)
• Lớp phủ lắng đọng bằng laser xung (PLD)
• Lắng đọng magnetron DC màng SiBCN

Ứng dụng:

• Phân tích khí dư
• Xử lý chân không
• XPS gần áp suất khí quyển, APXPS
• Mạ quang học màng mỏng
• CVD / MOCVD / ALD

IG20 sử dụng nguồn ion khí tác động electron độ sáng cao được thiết kế đặc biệt cho khả năng hoạt động với oxy nhưng cũng thích hợp sử dụng với các khí trơ và khí khác.

Đặc điểm:

• Kích thước điểm 100Micron
• Mật độ dòng điện cao
• Tương thích với oxy
• Dump trung tính
• Quét
• Dễ dàng thay thế sợi tóc đôi
• Lắp đặt mặt bích DN35 Conflat

Ứng dụng:

• Màng mỏng tráng phủ quang học
• Vật liệu điện tử
• Vật liệu hạt nhân

Hệ thống Hiden HPR-20 TMS Transient MS được thiết kế để phân tích nhanh các sự kiện khí gas và hơi nước ở áp suất gần khí quyển. Thích hợp cho các thí nghiệm chuyển đổi khí nhanh, hệ thống MS này được trang bị giao diện lấy mẫu QIC bằng thạch anh dài 0,9 m cho thời gian phản hồi nhanh.

Các ứng dụng:

• Phân tích nhiệt TA/MS
• Xúc tác
• Pin nhiên liệu
• CVD / MOCVD / ALCVD
• Giám sát môi trường
• Phân tích hơi thở con người
• Nghiên cứu tách khí
• Nhật ký bùn (thăm dò dầu)

Hệ thống phân tích khí Hiden HPR-20 S1000 được cấu hình để phân tích liên tục các khí và hơi ở áp suất gần với áp suất khí quyển trong điều kiện tiêu chuẩn, với các hệ thống thay thế được cung cấp cho các ứng dụng đòi hỏi lấy mẫu trực tiếp từ áp suất cao hơn đến 30 bar.

Ứng dụng:

• Phân tích nhiệt TA/MS
• Xúc tác
• Pin nhiên liệu
• CVD / MOCVD / ALCVD
• Giám sát môi trường
• Giám sát buồng kín
• Nghiên cứu phân tách khí

Hệ thống phân tích khí chuyên dụng Hiden HPR-20 R&D là một máy phân tích khối phổ để bàn dùng để phân tích khí của các khí và hơi thoát ra theo thời gian thực.

Các ứng dụng:

• Phân tích nhiệt TA/MS
• Xúc tác
• Pin nhiên liệu
• CVD / MOCVD / ALCVD
• Giám sát môi trường
• Giám sát buồng găng tay
• Nghiên cứu tách khí
• Khai thác dầu (ghi nhật ký bùn)