XBS

Hệ thống giám sát nhiều nguồn trong ứng dụng lắng đọng MBE

  • Model: XBS
  • Manufacturer: Hiden Analytical

Các nguồn chùm phân tử cần được kiểm soát chính xác để tạo ra màng mỏng chất lượng và có thể tái tạo. Hệ thống XBS (chùm chéo) của Hiden cung cấp khả năng giám sát nhiều nguồn trong thời gian thực, cho phép điều khiển chính xác quá trình lắng cặn. XBS của Hiden là một công cụ tuyệt vời được sử dụng trong phép đo khối phổ chùm phân tử.

Ứng dụng:

  • Giám sát và điều khiển MBE
  • Nghiên cứu chùm phân tử
  • Phân tích nhiều nguồn chùm
  • RGA hiệu suất cao
  • Giải hấp phụ
  • Nghiên cứu giải khí
  • Chu kỳ làm nóng
  • Các tạp chất khí trong quá trình
Danh mục:

Hệ thống Hiden XBS RC là một hệ thống máy đo phổ khối quadrupole được thiết kế để giám sát đồng thời nhiều nguồn chùm tia, và đặc biệt cho phép chấp nhận chùm tia qua một hình nón 70°, vuông góc với trục quadrupole.

Các khẩu chấp nhận chùm tia được cấu hình riêng lẻ cho từng vị trí nguồn buồng phản ứng cụ thể, được sản xuất như các thành phần cắm có thể thay thế để cho phép sửa đổi hồi tố trong trường hợp buồng thay đổi.

Hệ thống Hiden RC được điều khiển trực tiếp từ máy tính tương thích PC thông qua kết nối RS232 hoặc Ethernet, cung cấp việc thu thập dữ liệu đồng thời từ nhiều hệ thống. Đơn vị giao diện RC là một đơn vị gắn rack 19 inch, cao 90 mm (2U). Nó được cấp nguồn điện và bao gồm các đèn báo nguồn và trạng thái dây tóc.

Phần mềm máy tính Windows®-MASsoft Professional cung cấp khả năng thu thập dữ liệu nhanh chóng thông qua các tệp thu thập do người dùng cấu hình hoặc các chế độ được đặt trước theo biểu tượng.

Các tính năng

Truy cập nhanh cho Biểu đồ, Phân tích Xu hướng và Đỉnh tương tự Quét pha trộn, Phân tích Xu hướng, Biểu đồ và Đỉnh tương tự trong màn hình đa cửa sổ để kiểm tra Thu thập dữ liệu từ nhiều hệ thống qua Ethernet. Căn chỉnh thang khối tự động. Thư viện phổ khối tích hợp với chức năng chỉnh sửa đầy đủ Cơ sở xuất dữ liệu sang định dạng ASCII và tất cả các thiết bị Windows® để in/vẽ Con trỏ để nhận dạng độ cao đỉnh dưới điều khiển chuột.

Hệ thống Hiden XBS RC bao gồm:

  • Đơn vị giao diện điều khiển RC, cáp Ethernet 3 m và chữ T
  • Máy phát RF với tiền khuếch đại
  • Bộ phân tích với nguồn ion bắn phá electron tích hợp, bộ lọc khối chính xác và máy dò Cáp nối 3m
  • Phần mềm máy tính Windows®-MASsoft Professional Ngoài ra, cần có một hệ thống tương thích PC.
Ion source: Cross-beam ion source with beam acceptance through +/-35° to the transverse axis
Beam acceptance apertures: Typically 2 mm diameter, dependent on beam source position and quantity.

Beam acceptance apertures are configured for each specific beam source position

Mass Filter: Triple-stage mass filter of the -3F type, with pre and post filter stage.

Pole diameter 6.0 mm

Mass range: 1 : 320 amu 1 : 510 amu
Resolving power: Less than 1 amu peak width for all masses at 5% of the peak height
Ion detection: Dual Faraday/Electron Multiplier detector

The Electron Multiplier is air-stable, single channel type

Ion Source: Electron bombardment type, radially symmetric
Filament: Twin filament.  Tungsten is standard
Electron emission: Software variable 1 µA to 2 mA
Electron energy: Software variable 0 to 150 eV
Ion energy: Software variable 0 to 10 eV
Minimum detectable signal: 6 x 103 ions/s Far
Beam: 30 ions/s EM
RGA 5 x 10-11  mbar  EM

2.5 x 10-13  mbar  EM

RGA

Maximum operating pressure: 10-4 mbar with Faraday detector

10-5  mbar with Electron Multiplier detector 

Maximum bakeout temperature: 250°C
PC Interface: RS232, USB 2.0, 10/100 Base-T LAN
RC interface unit I/O: 5 configurable I/O TTL lines, 2 analog inputs, 2 trip relay outputs, external trip input and over-pressure trip output

3 RS485 (multi-protocol) to interface with a wide range of external devices, MFCs for example.

8 digital inputs compatible with 5 V and 24 V logic levels 8 open collector digital outputs (30 V, 500 mA max)

4 or 8 channel analog outputs, 0-10 V, 14 bit (optional)

Dimensions:
RC interface unit Height:  90 mm/2U. Width:19″ rack mounting.Depth:240 mm
RF Head: 130 mm x 122 mm x 325 mm
Analyser Mounting flange DN-63-CF, 114 mm OD Conflat type
Cable lengths:
RC interface to RF head: 3 m standard.  Longer lengths to 30 m available 
RC interface to PC: Up to 15 metres with RS232 link.

Up to 750 metres with unbridged Ethernet link 5 m Ethernet and 5 m RS232 cables included

Power  Requirement 110/220/240 VAC, 220-240 VAC, 0.25 kVA Maximum Voltage Fluctuation -10% to +7%

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis – RGA | For Applications in a Vacuum Environment

Tải xuống

Đánh giá sản phẩm

Review XBS

5 0% | 0 đánh giá
4 0% | 0 đánh giá
3 0% | 0 đánh giá
2 0% | 0 đánh giá
1 0% | 0 đánh giá
Đánh giá XBS
Gửi ảnh thực tế
0 ký tự (Tối thiểu 10)
    +

    Chưa có đánh giá nào.

    Chưa có bình luận nào

    Sản phẩm liên quan

    Reecotech cung cấp các sản phẩm và dịch vụ chất lượng cao, góp phần bảo vệ môi trường và phát triển bền vững.

    EPIC 1000 Series

    EPIC / EPIC 1000 Series

    Hệ thống phân tích UHV trung tính, gốc tự do và ion
    tìm hiểu thêm
    RGA Series

    RGA Series

    Hệ thống kiểm tra các thành phần có trong bình chứa hoặc được tạo ra từ một quá trình
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích chùm phân tử XBS RC

    XBS

    Hệ thống giám sát nhiều nguồn trong ứng dụng lắng đọng MBE
    tìm hiểu thêm
    Máy phân tích phổ khối ion thứ cấp được bơm vi sai IMP-EPD

    IMP-EPD

    Máy quang phổ khối cho ứng dụng khắc tia ion
    tìm hiểu thêm
    Máy phân tích khối lượng và năng lượng để nghiên cứu plasma

    PSM

    Máy phân tích khối lượng và năng lượng để nghiên cứu plasma
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích khối lượng tứ cực cho giám sát quá trình và chuẩn đoán chân không

    HMT

    Hệ thống phân tích khối lượng tứ cực cho giám sát quá trình và chuẩn đoán chân không
    tìm hiểu thêm
    Súng ion Argon hoặc Oxygen 5keV dành cho các ứng dụng phân tích bề mặt UHV

    IG20

    Súng ion Argon hoặc Oxygen 5keV dành cho các ứng dụng phân tích bề mặt UHV
    tìm hiểu thêm
    Hệ thống phân tích khí HPR-20 TMS

    HPR-20 TMS

    Hệ thống phân tích khí chuyên nghiệp để phân tích các thay đổi thành phần khí nhanh chóng
    tìm hiểu thêm