PSM

Hệ thống PSM bao gồm quang học trích ly/cản ion tích hợp ion hóa va chạm electron, bộ phân tích khối lọc ba tầng và bộ phân tích năng lượng dòng. Bộ phân tích năng lượng ion cho phép đo năng lượng ion và phân bố năng lượng ion đối với các ion plasma đã chọn. Quang học trích ly/cản ion giúp loại bỏ ảnh hưởng của phổ nền gây ra bởi các ion plasma, do đó tăng độ nhạy tổng thể đối với các loài trung tính được lấy mẫu từ plasma so với RGA thông thường.

Việc điều khiển ion hóa va chạm electron của PSM cho phép phân tích gốc trung tính bằng phương pháp đo khối phổ ngưỡng ion hóa tiệm cận xuất hiện (TIMS).

PSM được cung cấp hoàn chỉnh trong một vỏ bơm vi sai UHV nhỏ gọn với lỗ lấy mẫu có thể thay đổi. Mặt bích lắp PSM là loại DN-63-CF, mặt bích loại Conflat OD 114 mm (4½ “) hoặc phụ kiện loại DN-40-KF với bộ chuyển đổi. Bộ chuyển đổi không được bao gồm.

Một nhóm bơm turbomolecular có công suất 60 l / s được bao gồm để vận hành khối phổ UHV và một đồng hồ đo chân không tiêu chuẩn UHV với rơle cảm biến áp suất được bao gồm để bảo vệ áp suất quá mức của khối phổ.

Lỗ lấy mẫu có thể thay thế được gắn ở đầu dò. Lỗ thông tiêu chuẩn chứa chế độ áp suất lên đến 0,5 mbar với bơm vi sai 60 l / s. Các tùy chọn mở rộng phạm vi này lên 2,0 mbar, 20 mbar, 100 mbar và lấy mẫu khí quyển.

Hệ thống PSM được điều khiển trực tiếp bằng PC, phần mềm PC Windows®-MASsoft Professional được bao gồm theo tiêu chuẩn và cung cấp các quy trình thu thập và trình bày dữ liệu toàn diện.

Tính năng của hệ thống

• Phân tích ion dương của ion plasma quá trình.
• Phân tích năng lượng ion plasma với bộ phân tích năng lượng Bessel Box tích hợp.
• Chế độ RGA tích hợp để đo trung tính quá trình, nhiễm bẩn quá trình và phát hiện rò rỉ.
• Tùy chọn kích hoạt tín hiệu có thể lập trình cho plasma xung.
• Phần mềm PC MASsoft Professional.