EQS SIMS Analyser

Hệ thống Hiden EQS là một máy dò SIMS quadrupole tĩnh điện độc đáo, chuyên phân tích phổ khối của cả ion thứ cấp dương (+ve) và âm (-ve) từ các mẫu rắn. Với bộ phân tích năng lượng ion theo phân tử tĩnh điện 45° tích hợp, Hiden EQS có thể đồng thời phân tích năng lượng ion với độ phân giải 0,2 electron volt (eV). Điều này biến nó thành một trong những công cụ linh hoạt nhất để phân tích ion trong một loạt các ứng dụng khối phổ, bao gồm:

• Mở rộng phạm vi độ nhạy của XPS lên hơn 1000 lần
• SIMS động và tĩnh
• Phổ khối chùm ion tập trung (FIB)
• Phổ khối trung tính thứ cấp (SNMS)
• Hồ sơ độ sâu sputtering
• Phân tích khối/năng lượng của ion và trung tính phun ra

Là một bộ phận bổ sung phổ biến cho các hệ thống sau thị trường, lý tưởng như một thiết bị bổ sung cho các hệ thống XPS và hệ thống kính hiển vi FIB chùm ion, Hiden EQS cung cấp độ nhạy cao và bơm vi sai tùy chọn để đáp ứng nhu cầu hình ảnh, hồ sơ độ sâu và phổ khối của người dùng trong một loạt các ứng dụng.

Đặc điểm

• Bộ detector đếm ion xung nhạy cao với dải động 7 thập phân.
• Kiểm soát quét theo tia lưới cho phân tích độ sâu và hình ảnh tăng cường
• Bộ phân tích Electrostatic Sector góc 45°, quét năng lượng với độ tăng 0,05 eV/ 0,25eV FWHM.
• Giảm nhiễu đường bay ion tối thiểu và truyền ion ổn định ở mọi năng lượng.
• Thiết bị lọc Quadrupole ba tầng, tùy chọn khối lượng tới 5000 amu.
• Đồng hồ Penning và khóa liên động để bảo vệ quá áp.
• Tùy chọn bơm chênh lệch áp suất để sử dụng trong môi trường áp suất cao.
• Kiểm soát MASsoft qua RS232, RS485 hoặc Ethernet LAN.
• Dễ dàng kết nối với các hệ thống hiện có.