Hệ thống khối phổ ứng dụng trong lĩnh vực phân tích khí dư

Hệ thống phân tích khí dư (RGA) của hãng Hiden Analytical được phân phối độc quyền tại Việt Nam bởi công ty Reecotech là một máy khối phổ tứ cực, được thiết kế để phân tích loại khí bằng cách phân tích dữ liệu thu được theo thời gian thực để cung cấp cho người dùng thông tin dữ liệu cập nhật tức thời về tình trạng và dự đoán áp suất riêng phần của dư lượng khí trong chân không. Dữ liệu được sử dụng để phân tích môi trường, kiểm soát quá trình và giám sát ô nhiễm trong hệ thống chân không.

Hệ thống khối phổ phân tích khí dư có thể giám sát chất lượng chân không bằng cách phát hiện và đo vết tạp chất trong môi trường áp chân không. RGA được sử dụng làm thiết bị có độ nhạy cao để phát hiện khí rò rỉ.

RGA thường được gắn trực tiếp vào buồng chân không. Hệ thống thực hiện nhiều chức năng khác nhau mà các phương pháp phân tích khác khó làm được được bao gồm: phân tích các phản ứng xảy ra ở các pha khí khác nhau, giám sát những thay đổi xảy ra trong môi trường khí bất kỳ, phát hiện rò rỉ chân không và kiểm tra bộ điều khiển lưu lượng khối.

Thông số phân tích

Phân tích dư lượng khí còn lại trong buồng chân không sau khi được bơm xuống khỏi buồng. Các loại khí này có thể bao gồm cặn khí từ không khí xung quanh như oxygen, nitrogen, hơi nước, cùng với cặn khí trong quá trình phản ứng có thể bao gồm các cặn khí của chất phản ứng như silane, kim loại hữu cơ, halogen… 

Các sản phẩm sinh ra trong quá trình phản ứng như ammonia, hydrogen, độ ẩm… cũng có thể chứa chất gây ô nhiễm do rò rỉ hệ thống và hydrocarbon chảy ngược vào buồng xử lý từ hệ thống bơm chân không.

Nguyên lý hoạt động

Thiết bị khối phổ phân tích khí dư xác định các thành phần hoá học của hỗn hợp khí trong buồng chân không bằng cách ion hoá các loại khí có mặt trong hỗn hợp để tạo ra cái ion sơ cấp trước khi xác định tỷ lệ m/z của chúng.